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上海衡鵬企業發展有限公司


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3軸機械臂3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-19 09:15:06瀏覽次數:210次

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產品簡介

3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點:超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列適用于半導體生產設備內部

詳細介紹

3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點: 


超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列

適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運

全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價比優勢

機械手臂標準臂長:160mm, 200mm

適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供的手指


3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂基本參數


使用環境

潔凈間內的大氣環境

手臂

單臂

到達距離

400mm (手臂第3關節中心到達距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運質量

4kg (手臂第3關節處基準)




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