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3軸機(jī)械臂3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

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3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：超潔凈無(wú)塵間用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SCR3000CS系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

詳細(xì)介紹

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：

超潔凈無(wú)塵間用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SCR3000CS系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 100mm, 130mm, 160mm, 200mm

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)玻璃基板

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類(lèi)，設(shè)備布局等要求提供的手指

3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：