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上海衡鵬企業發展有限公司


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5軸機械臂5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-11 09:52:48瀏覽次數:124次

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產品簡介

5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂特點:5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列實現了下降價格

詳細介紹

5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂特點: 


5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列

實現了下降價格,但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能,功能

能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局

通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于減小真空腔室的內部容積

非常適合inline設備

機械手臂標準臂長:280mm, 330mm

手臂關節處使用磁流體密封裝置

真空密封:磁流體密封裝置以及波紋管

提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝5µm級過濾器

雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間

配備動作監視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓

手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質

晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式,利用O型膠圈的摩擦力來保持位置

可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指


5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂基本參數


使用環境

潔凈間內的大氣:溫度 15°C-40°C

工藝室溫度

450°C

手臂

單臂

到達距離

635mm (手臂第3關節中心基準)

升降軸行程

60mm

可搬運質量

4kg (手臂第3關節處基準)




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