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北京錦正茂科技有限公司
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探針臺測試系統簡介

時間:2023/3/1閱讀:170
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探針臺,是我們半導體實驗室電學性能測試的常用設備,也是各大實驗室以及芯片設計、封裝測試的熟客。設備具備各項優勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環境下,測試結果穩定,客觀,深受工程師們的青睞。

探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環節,負責晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩定的信號,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現更加精確的數據測試測量。半導體測試設備主要包括測試機、探針臺和分選機。在所有的測試環節中都會用到測試機,不同環節中測試機需要和分選機或探針臺配合使用。
    錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環境的高精度實驗臺,它的諸多設計都是專用的。因此,高低溫磁場探針臺的配置主要是根據用戶的需求進行選配及設計。例如,要求的磁場值,均勻區大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等,均于磁力線在一定區域內產生的磁通密度相關聯;位移臺還可與磁流體密封搭配,實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動;除此之外,該探針臺和我司自主研發的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶,可以磁場的高穩定性。因此,該類型的探針臺主要依據客戶的使用情況進行設計優化。

錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個(可選6個或8個)擁有高精度位移的探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。


 

 

可選附件:

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝置

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

t 1Mpa正壓系統升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉接頭

t 靜音真空泵

 

 

 

探針臺的維護和保養

1.避免碰撞:在安裝,操作探針臺時應避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發生故障或異常異音。
2.儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。
儀器運輸應使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。
3.儀器的存放
使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機械精密部件,光學部件,電學接觸面污染,導致儀器精度降低。
探針臺機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器,以免發生故障或危險。
探針臺光學部件清潔時,可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時易燃物,注意使用安全。
停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。
操作人員必須嚴格按要**作,以保證數據的準確和儀器的正常使用。

4.工作環境
探針臺應放在穩定可靠的臺面上,最好是具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激烈震動,陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。


 


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