ET系列勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。

　　英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機。

　　勻膠機產(chǎn)品特點

　　采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠的均一性。

　　5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設(shè)置)，可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，z多100個階段。

　　內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

　　多重安全保護:

　　電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全;

　　蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人;

　　雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實驗人員安全。

　　樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風(fēng)險。

　　一機兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

　　符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計，取放樣品方便。

　　不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

　　上下雙腔體設(shè)計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液，并帶廢膠

　　勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

　　勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。

　　勻膠機目前型號有：